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产品分类
产品简介
技术特点
●主要用于碲锌镉，碲镉汞，砷化镓，磷化铟，锑化铟等材料的双面精密研磨工艺，太阳轮、齿圈可联动也可各自独立控制；
●配备自主、优化的高精度镶嵌式主轴系统及压力精密实时控制系统；上盘采用浮动式连接方式，确保磨抛过程中与下盘随时保持平行；磨抛压力可按设定好的工艺参数闭环监控并修正。
性能指标
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